椭偏仪的原理（椭偏仪简介）

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1、中文名：椭偏仪特点：测量精度高光谱范围：深紫外的142nm到红外33um可选应用领域：半导体、微电子、MEMS等属性：光学测量仪器学科：物理学研究以及仪器的光学研究椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。

2、由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。

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